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快速高溫退火設備RTA RSA-06

原廠品牌:

原廠介紹:

日本株式會社第一機電成立于1991年,總部位于日本東京都。第一機電經過長年累積的經驗,提供加熱相關的全部設備,包括工業爐,結晶育成設備,高頻電源,一般加熱四個領域。尤其是在結晶育成設備領域,由于可以提案的種類眾多(CZ,VB,CVD,EFG,RTA,TSSG,PVT,MSG等),在國內外占有率卓然。特別是SiC晶體PVT,TSSG設備以及氧化鎵的EFG設備,都在業界里具有最高占有率。

產品圖片:

產品型號:

RSA-06

產品介紹:

  1. Ceramic, Metal Free的熱場設計
  2. 可以實現± 10℃以下(1500℃) 的面內溫度分布。
  3. 急加熱急冷卻的設計, 即使單片對應整體速度也很快
  4. 反應爐和冷卻室是分開存在, 加熱部可以保持均一高溫。 (專利申請)
  5. 加熱部一直是高溫保持,綜合運轉成本會降低
  6. 本裝置為高真空對應(可以使用干泵+渦輪分子泵)
  7. 最高可以對應2000℃。
  8. 我們將通過充分利用仿真軟件來建議最佳的熱場

基本規格(SPEC)

有任何相關問題請聯系:022-28219577

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