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小型研磨&拋光設備MA-400e
原廠品牌：
原廠介紹：
日本武藏野電子株式會社創(chuàng)立于1977年，位于日本東京都武藏野市。武藏野電子長年研究半導體基板的精密加工，專門設計與制作研究型的小型設備。包括研削，研磨，拋光，線切割，刀具切割，劃片等設備。因設備的小型化及精密化，深得企業(yè)研發(fā)中心以及大學研究室的喜愛，在研發(fā)領域具有絕對占有權。不僅在硅片領域，同時涉及化合物半導體以及最先端材料的研究，為行業(yè)提供各種解決方案。
產(chǎn)品圖片：
產(chǎn)品型號:
MA-400e
產(chǎn)品介紹：
1. 精密研磨設備MA-400e可以在完成高精度研削的定盤上直接安裝主軸。主軸采用高精度方位角來調(diào)整軸振動，成功實現(xiàn)在基準桌上±10μm以內(nèi)的面振動精度。
2. 無整流直流電機不會因負荷的變動而影響回轉(zhuǎn)數(shù)的變化，可實現(xiàn)高精度的研磨效果。
3. 自動研磨結(jié)構保持單元，KORO式搖動保持單元和各種試料的組合，電子材料、電子部品、陶瓷、金屬材料、TEM、SEM、SIMS試料的前處理、
4. 利用Ｘ線得出方位、實現(xiàn)高精度的自動研磨。
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