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小型研磨&拋光設備MA-400e

原廠品牌:

原廠介紹:

日本武藏野電子株式會社創(chuàng)立于1977年,位于日本東京都武藏野市。武藏野電子長年研究半導體基板的精密加工,專門設計與制作研究型的小型設備。包括研削,研磨,拋光,線切割,刀具切割,劃片等設備。因設備的小型化及精密化,深得企業(yè)研發(fā)中心以及大學研究室的喜愛,在研發(fā)領域具有絕對占有權。不僅在硅片領域,同時涉及化合物半導體以及最先端材料的研究,為行業(yè)提供各種解決方案。

產(chǎn)品圖片:

產(chǎn)品型號:

MA-400e

產(chǎn)品介紹:

1. 精密研磨設備MA-400e可以在完成高精度研削的定盤上直接安裝主軸。主軸采用高精度方位角來調(diào)整軸振動,成功實現(xiàn)在基準桌上±10μm以內(nèi)的面振動精度。

2. 無整流直流電機不會因負荷的變動而影響回轉(zhuǎn)數(shù)的變化,可實現(xiàn)高精度的研磨效果。

3. 自動研磨結(jié)構保持單元,KORO式搖動保持單元和各種試料的組合,電子材料、電子部品、陶瓷、金屬材料、TEM、SEM、SIMS試料的前處理、

4. 利用X線得出方位、實現(xiàn)高精度的自動研磨。

 

 

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